Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке тяжелых d-металлов ионами из азотной плазмы А. И. Кузьмичев, М. С. Мельниченко, В. М. Шулаев
Material type: ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): ионное распыление | коэффициенты распыления | коэффициент отражения | ионы азота | осмий | иридий | вольфрам | плазменные системы | распылительные системыGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 10. С. 95-101Abstract: Представлены результаты кинетического моделирования по методу Монте-Карло процесса распыления тяжелых d-металлов группы Ir, Os и W ионами азота N+ в диапазоне энергий ионов 0.5–2.5 кэВ. Получены коэффициенты физического ионного распыления, средние энергии распыленных атомов, коэффициенты отражения бомбардирующих ионов в виде нейтральных атомов азота, глубины проникновения ионов в тело мишени. Выполнены расчеты для одно-, двух- и трехэлементных мишеней. Определены парциальные коэффициенты ионного распыления указанных металлов и изучено влияние величины энергии поверхностной связи на параметры ионного распыления отдельных элементов мишени. Проведены расчеты для мишени из Al для сравнения параметров ионного распыления тяжелых d-металлов и алюминия. Несмотря на сильное различие в значениях энергии поверхностной связи для этих металлов, величины коэффициентов их распыления оказались одного порядка вследствие того, что ионы азота глубже проникают в алюминий и затрудняется выход атомов отдачи наружу из мишени. Исследованы отраженные или обратнорассеянные нейтрализовавшиеся атомы азота. Определен коэффициент отражения бомбардирующих частиц азота от тяжелых металлов и алюминия.Библиогр.: 15 назв.
Ограниченный доступ
Представлены результаты кинетического моделирования по методу Монте-Карло процесса распыления тяжелых d-металлов группы Ir, Os и W ионами азота N+ в диапазоне энергий ионов 0.5–2.5 кэВ. Получены коэффициенты физического ионного распыления, средние энергии распыленных атомов, коэффициенты отражения бомбардирующих ионов в виде нейтральных атомов азота, глубины проникновения ионов в тело мишени. Выполнены расчеты для одно-, двух- и трехэлементных мишеней. Определены парциальные коэффициенты ионного распыления указанных металлов и изучено влияние величины энергии поверхностной связи на параметры ионного распыления отдельных элементов мишени. Проведены расчеты для мишени из Al для сравнения параметров ионного распыления тяжелых d-металлов и алюминия. Несмотря на сильное различие в значениях энергии поверхностной связи для этих металлов, величины коэффициентов их распыления оказались одного порядка вследствие того, что ионы азота глубже проникают в алюминий и затрудняется выход атомов отдачи наружу из мишени. Исследованы отраженные или обратнорассеянные нейтрализовавшиеся атомы азота. Определен коэффициент отражения бомбардирующих частиц азота от тяжелых металлов и алюминия.
There are no comments on this title.