E-catalog        

Библиогр.: 15 назв.

Ограниченный доступ

Представлены результаты кинетического моделирования по методу Монте-Карло процесса распыления тяжелых d-металлов группы Ir, Os и W ионами азота N+ в диапазоне энергий ионов 0.5–2.5 кэВ. Получены коэффициенты физического ионного распыления, средние энергии распыленных атомов, коэффициенты отражения бомбардирующих ионов в виде нейтральных атомов азота, глубины проникновения ионов в тело мишени. Выполнены расчеты для одно-, двух- и трехэлементных мишеней. Определены парциальные коэффициенты ионного распыления указанных металлов и изучено влияние величины энергии поверхностной связи на параметры ионного распыления отдельных элементов мишени. Проведены расчеты для мишени из Al для сравнения параметров ионного распыления тяжелых d-металлов и алюминия. Несмотря на сильное различие в значениях энергии поверхностной связи для этих металлов, величины коэффициентов их распыления оказались одного порядка вследствие того, что ионы азота глубже проникают в алюминий и затрудняется выход атомов отдачи наружу из мишени. Исследованы отраженные или обратнорассеянные нейтрализовавшиеся атомы азота. Определен коэффициент отражения бомбардирующих частиц азота от тяжелых металлов и алюминия.