Normal view
MARC view
Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники Электронный ресурс [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"] Ф. И. Григорьев ; Московский гос. ин-т электроники и математики (Технический ун-т)
Material type:
TextPublication details: Москва [б. и.] 2008Description: 1 онлайн-ресурс (35 с.) илSubject(s): электронные учебные пособия для вузов | полимеры, физические свойства | полимеры, химическое строение | органические полимеры | полимерные материалы | ускоренные ионы | торможение ионов | имплантация ионная | физико-химические процессы | радиационно-химические процессы | изменение свойств полимеров | ионно-плазменная обработка | ионно-лучевая литография | фоторезисты | электронорезисты | плазмохимическое травление | полимеры ионно-имплантированныеOnline resources: Click here to access online
There are no comments on this title.