Normal view
MARC view
Микросистемы учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов В. А. Гуртов, Д. В. Логинов ; Петрозаводский гос. ун-т
Material type:
TextPublication details: Петрозаводск Издательство ПетрГУ 2021Description: 187, [1] с. ил., табл., портрContent type: Текст Media type: непосредственный ISBN: 9785802137611Subject(s): микроэлектромеханические системы (МЭМС) | микроэлектромеханические системы, структурные элементы | микроэлектромеханические системы, микрообработка | микроэлектромеханические системы, материалы | микроэлектромеханические системы, технологии | микроэлектромеханические устройства | датчики давления | микрофоны | высокочастотные ключи | акселерометры | магнитометры | гироскопы | актуаторы (исполнительные машины) | датчики температуры | микроэлектромеханические системы оптические | микроэлектромеханические системы биомедицинские | электромеханические устройства, методы анализа | компьютерное моделирование микроэлектромеханических систем | наноэлектромеханические системы | нанонити, формирование | нанорезонаторы | микроэлектромеханические системы, герметизация | микроэлектромеханические системы, корпусирование | микроэлектромеханические системы, стандартизация | микроэлектромеханические системы, классификация
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 681.5 Г957 (Browse shelf (Opens below)) | В каталогизации | 13820001062067 |
Библиогр.: с. 175-187
Предм. указ.: с. 174
There are no comments on this title.