Normal view
MARC view
Нанотехнологии в микроэлектронике [Авдеев С. П., Авилов В. И., Агеев В. О. и др.] ; под ред. О. А. Агеева, Б. Г. Коноплёва ; Южный фед. ун-т, Ин-т нанотехнологий, электроники и приборостроения [и др.]
Material type:
TextPublication details: Москва Наука 2019Description: 511 с., [12] л. рис. табл., рисISBN: 9785020402010Subject(s): наноматериалы | элементная база электроники | сверхбольшие интегральные схемы | ультрабольшие интегральные схемы | сенсоры многоосевые микромеханические | нанопьезоэлектроника | сенсорика микроэлектронная | нейроморфные системы | микроэлектроника вакуумная | нанотехнологии | эпитаксия молекулярно-лучевая | лазерное осаждение импульсное | плазмохимическое осаждение | сканирующая зондовая микроскопия | нанолитография зондовая | ионные пучки фокусированные, метод | электронно-лучевая обработка | планарные технологии поверхностной обработки | углеродные нанотрубки вертикально ориентированные, получение | углеродные нанотрубки вертикально ориентированные, нанодиагностика | углеродные нанотрубки вертикально ориентированные, материал наноэлектроники | наноструктуры самоорганизующиеся, формирование | нанокристаллические пленки, осаждение | наноструктуры титана оксидные, эффект мемристорный | поверхности атомарно-гладкие, формирование | подложки монокристаллические карбида кремния | нанокомпозиты полимерные, электропроводность | наноструктуры автоэмиссионные графеновых пленок | графеновые пленки | интегральные логические схемы сверхбыстродействующие | интегральные логические схемы на основе туннельно-связанных квантовых областей | наномеханические гироскопы | наномеханические акселерометры | датчики инерциальные, технология изготовления
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 621.3 Н254 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000996730 | |
| 1 месяц | Читальный зал. Депозитарий | 621.3 Н254 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000996731 |
Авт. указ. на обороте тит. л.
Библиогр. в конце гл.
There are no comments on this title.