Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
-
Authors
-
Locations
- Книгохранилище (2)
- Библиотека РФФ [x]
- Абонемент. Депозитарий (1)
- Читальный зал. Депозитарий (1)
- Факультетская библиотека (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 1 месяц (2)
- 6 месяцев (2)
-
Topics
- Металлы (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные (1)
- Осаждение из газовой фазы (1)
- Производство (1)
- алюминий (1)
- вольфрам (1)
- германий (1)
- диффузия в германии (1)
- диффузия в кремнии (1)
- диффузия в окислах (1)
- диффузия примесей в полупроводниках (1)
- диэлектрические пленки (1)
- диэлектрические постоянные (1)
- интегральные микросхемы (1)
- кремний (1)
- кремний аморфный (1)
- медь (1)
- микроструктуры (1)
- нитрид кремния (1)
- оксинитрид кремния (1)
- плазмоактивированные процессы (1)
- поверхности полупроводников (1)
- поликремний легированный (1)
- поликремний нелегированный (1)
- полупроводники (1)
- полупроводниковые гетероструктуры (1)
- полупроводниковые кристаллы (1)
- полупроводниковые пленки (1)
- распад твердых растворов пересыщенных (1)
- растворимость примесей в полупроводниках (1)
- стекла силикатные (1)
- тантал (1)
- термоактивированные процессы (1)
- технология производства микросхем (1)
- титан (1)
- точечные дефекты в кристаллах (1)
- фоторезисторы кремнеорганические (1)
- эпитаксиальные монокристаллические пленки (1)
- Show more
- Show less