Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Оборудование полупроводникового производства [учебное пособие для студентов приборостроительных специальностей вузов] И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов

By: Блинов, Иван ГригорьевичContributor(s): Кожитов, Лев ВасильевичMaterial type: TextTextSeries: Для вузовPublication details: Москва Машиностроение 1986Description: 262, [1] с. рис., таблSubject(s): учебные издания для вузов | производство полупроводниковых приборов | производство интегральных микросхем | технологическое оборудование | нагрев изделий | вакуумные системы | газовые системы | выращивание монокристаллов полупроводников | кристаллизационные установки | оборудование для обработки поверхностей | диффузионно-окислительные системы | системы ионной имплантации | эпитаксиальные преобразователи | фотолитографическое оборудование | оборудование для осаждения пленок | монтажно-сборочное оборудование | автоматизация производства | промышленные роботы
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
1 месяц Книгохранилище 1-606779 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000911768

Библиогр.: с. 256-258

Предм. указ.: с. 259-263

There are no comments on this title.

to post a comment.