Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
-
Authors
- Зи, С. М. [x]
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (2)
- Адамс, А. (1)
- Кац, Л. (1)
- Могэб, К. (1)
- Пирс, К. (1)
- Фичтнер, У. (1)
- Фрейзер, Д. (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 1 месяц (2)
-
Topics
- литография интегральных схем (2)
- Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство (1)
- герметизация интегральных схем (1)
- двуокись кремния (1)
- диагностика интегральных схем (1)
- диффузия в поликремнии (1)
- интегральные схемы сверхбольшие кремниевые (1)
- ионная имплантация (1)
- ионная имплантация интегральных схем (1)
- ионно-плазменные технологии (1)
- контроль интегральных схем (1)
- кремний (1)
- литография оптическая (1)
- литография рентгеновская (1)
- литография электронно-лучевая (1)
- металлизация интегральных схем (1)
- миниатюризация интегральных схем (1)
- надежность интегральных схем (1)
- нитрид кремния (1)
- окисление поликремния (1)
- осаждение диэлектрических пленок (1)
- осаждение плазмохимическое (1)
- пленки окисные (1)
- подложки кремниевые (1)
- поликремний (1)
- рост кристаллов (1)
- сборка интегральных схем (1)
- тестирование интегральных схем (1)
- технология интегральных микросхем (1)
- травление сухое интегральных схем (1)
- эпитаксиальные технологии (1)
- эпитаксия (1)
- Show more
- Show less