Normal view
MARC view
Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Ф. П. Пресс ; [редкол.: В. М. Пролейко (отв. ред.) и др.]
Material type: TextSeries: Массовая библиотека инженера "Электроника"Publication details: Москва Советское радио 1978Description: 94, [2] с. илSubject(s): полупроводниковые приборы | интегральные микросхемы | фотолитография | фотошаблоны | фоторезистыItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|
1 месяц | Книгохранилище | 1-318415 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000916401 | |
1 месяц | Книгохранилище | 1-320252 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000656320 | |
Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-324491к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000680968 |
Библиогр.: с. 92-95
There are no comments on this title.