Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Ф. П. Пресс ; [редкол.: В. М. Пролейко (отв. ред.) и др.]

By: Пресс, Феликс ПавловичContributor(s): Пролейко, Валентин Михайлович, 1933-2010 [edt]Material type: TextTextSeries: Массовая библиотека инженера "Электроника"Publication details: Москва Советское радио 1978Description: 94, [2] с. илSubject(s): полупроводниковые приборы | интегральные микросхемы | фотолитография | фотошаблоны | фоторезисты
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
1 месяц Книгохранилище 1-318415 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000916401
1 месяц Книгохранилище 1-320252 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000656320
Выдается в читальный зал Книгохранилище 1-324491к (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000680968

Библиогр.: с. 92-95

There are no comments on this title.

to post a comment.