Normal view
MARC view
Структура и состав трехслойных покрытий AlSiN+Ni+AlSiN, полученных методом магнетронного распыления Т. А. Губайдулина, Т. И. Дорофеева, В. П. Сергеев [и др.]
Material type: ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): магнетронное распыление | экспериментальные исследования | трехслойные покрытияGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online In: Международная конференция "Физическая мезомеханика. Материалы с многоуровневой иерархически организованной структурой и интеллектуальные производственные технологии", 6-10 сентября 2021 г., Томск, Россия : тезисы докладов С. 145-146No physical items for this record
Библиогр.: 5 назв.
There are no comments on this title.