Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Your search returned 3 results.

1.
Исследование эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и с помощью кварцевого измерителя толщины В. В. Дирко, В. А. Заяханов

by Дирко, Владимир Владиславович | Заяханов, Владимир Александрович.

Source: Физика твердого тела : сборник материалов XVI Российской научной студенческой конференции, Томск, 17–20 апреля 2018 г.Material type: Article Article; Format: electronic available online remote; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Other title: The study of the epitaxial growth of thin silicon and germanium films by electron diffraction techniques and by ultrasonic thickness gauge.Online access: Click here to access online Availability: No items available :
2.
Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины В. А. Заяханов, В. В. Дирко

by Заяханов, Владимир Александрович | Дирко, Владимир Владиславович.

Source: Труды Пятнадцатой Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 17-19 мая 2018 г.Material type: Article Article; Format: electronic available online remote; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Online access: Click here to access online Availability: No items available :
3.
Методы контроля скорости напыления кремния и германия при МЛЭ В. В. Дирко, В. А. Заяханов, К. В. Карева

by Дирко, Владимир Владиславович | Заяханов, Владимир Александрович | Карева, Катерина Валерьевна.

Source: Материалы 56-й Международной научной студенческой конференции МНСК-2018, 22-27 апреля 2018 г. Квантовая физикаMaterial type: Article Article; Format: electronic available online remote; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Online access: Click here to access online Availability: No items available :