Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы В. Киреев, А. Столяров

By: Киреев, Валерий ЮрьевичContributor(s): Столяров, Александр АлександровичMaterial type: TextTextLanguage: Russian Series: Мир электроникиPublication details: Москва Техносфера 2006Description: 190, [1] с. ил. 22 смISBN: 5948360393Subject(s): Металлы -- Осаждение из газовой фазы | Микроэлектронные схемы интегральные -- Производство | полупроводниковые пленки | термоактивированные процессы | плазмоактивированные процессы | эпитаксиальные монокристаллические пленки | кремний | германий | полупроводниковые гетероструктуры | поликремний легированный | поликремний нелегированный | кремний аморфный | стекла силикатные | нитрид кремния | оксинитрид кремния | диэлектрические пленки | диэлектрические постоянные | вольфрам | титан | тантал | алюминий | медь | фоторезисторы кремнеорганические | микроструктуры | интегральные микросхемы | технология производства микросхемOther classification: 32.85
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Copy number Status Date due Barcode
Выдается в читальный зал Каф. аналитической химии (ХФ) 62 К43 (Browse shelf (Opens below)) Available (Ограниченный доступ) 13820000539379
Выдается в читальный зал Книгохранилище 1-939316к (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000542020
6 месяцев Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000542021
1 месяц Книгохранилище 1-940784 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000539380
6 месяцев Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf (Opens below)) 1 Available 13820000611963
1 месяц Книгохранилище 1-952628 (Browse shelf (Opens below)) 1 Available 13820000584134
6 месяцев Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf (Opens below)) 2 Available 13820000611964
1 месяц Книгохранилище 1-952629 (Browse shelf (Opens below)) 2 Available 13820000584135
6 месяцев Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf (Opens below)) 3 Available 13820000611965
6 месяцев Библиотека РФФ 621.3 К43 (Browse shelf (Opens below)) 4 Checked out 13/08/2024 13820000611966
6 месяцев Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf (Opens below)) 5 Available 13820000611967

Библиогр.: с. 188-190

There are no comments on this title.

to post a comment.