TY  - BOOK
AU  - Ардышев,Михаил Вячеславович
ED  - Томский государственный университет.
TI  - Исследование радиационно-термических процессов формирования ионно-легированных слоев n-GaAs: Диссертационная работа на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10
PY  - 2000///
CY  - Томск
KW  - диссертации
KW  - полупроводники легированные
KW  - твердые тела
KW  - поверхностные явления в полупроводниках
KW  - электронно-дырочная плазма
KW  - термоионизация полупроводников
KW  - диффузия в полупроводниках
KW  - некогерентные источники света
KW  - фотонное излучение
KW  - лазерное излучение
KW  - термический отжиг быстрый
KW  - лазерный отжиг
KW  - электронный отжиг
KW  - электронные пучки
KW  - радиационно-термические технологии (полупроводники)
KW  - имплантированные слои
KW  - полупроводниковые структуры
KW  - электроны
KW  - напряжения
KW  - ионизация
KW  - арсенид галлия
KW  - ионная имплантация
KW  - электроактивация
N1  - Библиогр.: л. 142-149
ER  -