TY - GEN AU - Преображенский,Валерий Владимирович AU - Путято,Михаил Альбертович AU - Семягин, Борис Рэмович AU - Болховитянов,Юрий Борисович AU - Пчеляков,Олег Петрович AU - Феклин,Дмитрий Федорович TI - Молекулярно-лучевая эпитаксия фосфорсодержащих соединений с использованием потока фосфора, получаемого при термическом разложении InP KW - арсенид галлия KW - полупроводниковое материалы KW - молекулярно-лучевая эпитаксия KW - гетероструктуры KW - фосфорсодержащие соединения KW - фосфор KW - фосфид индия KW - термическое разложение N1 - Библиогр.: 2 назв ER -