TY - GEN AU - Талипов,Нияз Хатимович AU - Войцеховский,Александр Васильевич ED - Томский государственный университет ED - Томский государственный университет TI - Оптимизация технологии формирования многоэлементных матричных ИК-фотоприемников на основе МЛЭ слоев CdxHg1-xТе KW - теллурид кадмия-ртути KW - гетероэпитаксиальные слои KW - травление ионно-лучевое KW - ионная имплантация KW - матричные фотоприемники KW - статьи в сборниках UR - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000520432 ER -