TY  - GEN
AU  - Савченко,В.А.
TI  - Моделирование изотермической жидкофазной эпитаксии соединений A3B5 при избыточном давлении пара элемента пятой группы
KW  - физика полупроводников
KW  - физика диэлектриков
KW  - эпитаксия
KW  - жидкофазная эпитаксия
KW  - математическое моделирование
KW  - изотермические процессы
ER  -