TY  - SER
AU  - Визирь,Алексей Вадимович
AU  - Гушенец,Василий Иванович
AU  - Николаев,Алексей Геннадьевич
AU  - Никоненко,Алиса Владимировна
AU  - Окс,Ефим Михайлович
AU  - Савкин,Константин Петрович
AU  - Фролова,Валерия Петровна
AU  - Шандриков,Максим Валентинович
AU  - Юшков,Георгий Юрьевич
AU  - Бугаев,Алексей Сергеевич
TI  - Модификация поверхности материалов ионами бора на основе разрядных систем вакуумной дуги и планарного магнетрона
KW  - ионы бора
KW  - плазма
KW  - вакуумные дуги
KW  - планарные магнетроны
KW  - изотопические эффекты
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 12 назв; Ограниченный доступ
N2  - Рассмотрен принцип работы и приведены характеристики экспериментального оборудования, разработанного для генерации пучков и плазмы ионов бора: источника ионов бора на основе вакуумной дуги с сепарацией изотопов бора в магнитном поле и генератора плазмы для нанесения борсодержащих покрытий на основе планарного магнетрона. Общим для данного оборудования является использование катодов, выполненных из гекса-борида лантана. В случае планарного магнетрона также использовался катод из кристаллического бора, нагреваемый в разряде. Показано, что при имплантации кремния пучками ионов изотопов бора 10B+ и 11B+ с дозами 1014-1016 ион/см2 наблюдается изотопический эффект диодных свойств легированной поверхности. Представлены результаты исследований свойств полученных борсодержащих покрытий на модельных материалах: нержавеющей стали 12Х18Н10Т, монокристаллическом кремнии и реакторном сплаве Э110
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000789108
ER  -