Нанотехнологии в микроэлектронике / [Авдеев С. П., Авилов В. И., Агеев В. О. и др.] ; под ред. О. А. Агеева, Б. Г. Коноплёва ; Южный фед. ун-т, Ин-т нанотехнологий, электроники и приборостроения [и др.]. - Москва : Наука, 2019. - 511 с., [12] л. рис.: табл., рис.