Воротынцев В. М. Базовые технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов. - Москва : Проспект, 2018. - 519 с.: ил., табл.