TY  - BOOK
AU  - Литовченко,Владимир Григорьевич
AU  - Попов,Валентин Георгиевич
AU  - Кутузова,К.А.
TI  - Физика поверхности и микроэлектроника
T2  - Новое в жизни, науке, технике. Физика
SN  - 5070011766
PY  - 1990///
CY  - Москва
PB  - Знание
KW  - физика поверхности твердых тел
KW  - физика поверхности полупроводников
KW  - сверхрешетки поверхностные
KW  - кристаллические структуры поверхности
KW  - термодинамические свойства поверхности твердого тела
KW  - полупроводниковые структуры
KW  - поверхностные явления в полупроводниках
KW  - ионная имплантация (физика поверхности)
KW  - лазерный отжиг
KW  - геттерирование (микроэлектроника)
KW  - фотоэлектрические явления в полупроводниках (физика поверхности)
KW  - люминесценция полупроводниковых слоев тонких
KW  - микроэлектроника, технология поверхностная
KW  - поверхности полупроводниковых приборов
KW  - эпитаксиальные структуры
KW  - туннелирование (полупроводники)
KW  - Электроны горячие
KW  - оптоэлектронные приборы
KW  - сверхпроводящие пленки
KW  - сверхпроводимость высокотемпературная
KW  - микроэлектроника молекулярная
ER  -