TY  - BOOK
AU  - Ильин,Александр Анатольевич
AU  - Плихунов,Виталий Валентинович
AU  - Петров,Леонид МИхайлович
AU  - Спектор,Виктор Семенович
TI  - Вакуумная ионно-плазменная обработка: [учебное пособие для вузов по направлению подготовки магистров 150100 "Материаловедение и технологии материалов"
T2  - Современные технологии. Магистратура
SN  - 9785982813664
PY  - 2014///
CY  - Москва
PB  - Альфа-М [и др.]
KW  - учебные издания для вузов
KW  - плазма газовая
KW  - плазма металлическая
KW  - плазменные потоки
KW  - источники плазмы
KW  - формирование плазмы
KW  - вакуумные установки
KW  - катодное пятно дуги
KW  - капельные составляющие плазменных потоков
KW  - дефектные структуры
KW  - поверхностные структуры
KW  - воздействия плазменных потоков
KW  - свойства поверхностей
KW  - очистка поверхностей
KW  - активация поверхностей
KW  - модифицирование покрытий
KW  - многослойные покрытия, формирование
KW  - наноструктурированные покрытия
KW  - нанометрические структуры
N1  - Авт. указ. на обороте тит. л; Библиогр.: с. 150-155
ER  -