TY  - GEN
AU  - Коваль,Николай Николаевич
AU  - Григорев,Сергей Владимирович
AU  - Девятков,Владимир Николаевич
TI  - Разработка Института сильноточной электроники Сибирского отделения РАН в области вакуумных электронно-ионно-плазменных технологий
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - Институт сильноточной электроники (Томск)
KW  - электронно-ионно-плазменные методы
KW  - вакуумные установки
KW  - нанотехнологии
KW  - наноструктурированные покрытия
KW  - ионно-плазменная технология
KW  - электронные пучки
N1  - Библиогр.: с. 355
ER  -