TY  - GEN
AU  - Цаплин,В.Б.
TI  - Влияние температуры роста и отношения потоков As/Ga на электрофизические свойства слоев легированного кремнием GaAs, выращенного методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низких температурах
KW  - физика полупроводников
KW  - физика диэлектриков
KW  - молекулярно-лучевая эпитаксия
KW  - электрофизические свойства
KW  - легирование
ER  -