TY - BOOK AU - Пушкарев,Александр Иванович TI - Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.14.12; 01.04.08 PY - 2002/// CY - Томск KW - физика плазмы KW - БВАК2000N3 KW - Техника высоких напряжений KW - авторефераты диссертаций KW - Томский политехнический университет N1 - Библиогр.: с.18-19 ER -