Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике / А. И. Борисенко, В. В. Новиков, Н. Е. Прихидько и др. Акад. наук СССР, Ин-т химии силикатов им. ю И. В. Гребенщикова. - Ленинград : Наука, Ленинградское отделение, 1972. - 112, [2] с.: ил.