TY  - BOOK
AU  - Хлудков,Станислав Степанович
AU  - Прудаев,Илья Анатольевич
AU  - Толбанов,Олег Петрович
AU  - Ивонин,Иван Варфоломеевич
ED  - Томский государственный университет.
TI  - Диффузия примесей и собственных точечных дефектов в арсениде галлия
SN  - 9785907572058
PY  - 2022///
CY  - Томск
PB  - Издательство Томского государственного университета
KW  - арсенид галлия
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - диффузия в полупроводниках
KW  - арсенид галлия, диффузия примесей
KW  - арсенид галлия, диффузия точечных дефектов
KW  - точечные дефекты арсенида галлия, диффузия
KW  - примеси донорные арсенида галлия, диффузия
KW  - примеси акцепторные арсенида галлия, диффузия
KW  - арсенид галлия, образование дислокаций
KW  - диффузионные слои арсенида галлия, легированные примесями
KW  - химические элементы примесные
KW  - точечные дефекты собственные, самодиффузия
KW  - арсенид галлия нелегированный, электрофизические характеристики
KW  - арсенид галлия дырочный, диффузия примесей
KW  - n-слои арсенида галлия дырочного
KW  - p-n слои арсенида галлия дырочного
KW  - арсенид галлия, гетероструктуры приповерхностные
KW  - арсенид галлия, диффузия примесей переходных металлов
KW  - арсенид галлия, π-v-n структуры
KW  - арсенид галлия, высокоомные диффузионные слои
KW  - арсенид галлия, дислокации генерируемые
KW  - арсенид галлия, ферромагнитные включения
KW  - монографии
N1  - Посвящается 70-летию радиофизического факультета Томского государственного университета; Библиогр. в конце глав
N2  - В монографии систематизированы наиболее важные, по нашему мнению, данные, касающиеся процесса диффузии в арсениде галлия собственных точечных дефектов, донорных, акцепторных примесей, примесей с глубокими энергетическими уровнями, образованию дислокаций в процессе диффузии примесей. Обсуждены механизмы диффузионных процессов. Для широкого круга специалистов – научных сотрудников, инженеров, преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физики и технологии полупроводниковых материалов и микроэлектроники
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925804
ER  -