Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN / А. С. Гренадёров, А. Н. Захаров, В. О. Оскирко [и др.] // Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 31-37. URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925011