TY  - GEN
AU  - Неткачев,Д.В
AU  - Анисимов,Олег Викторович
AU  - Максимова,Надежда Кузьминична
AU  - Черников,Евгений Викторович
TI  - Влияние режимов ВЧ магнетронного напыления на свойства тонких пленок диоксида олова
KW  - физика полупроводников
KW  - физика диэлектриков
KW  - полупроводниковые низкоразмерные структуры
KW  - физика полупроводниковых низкоразмерных структур
KW  - технология полупроводниковых низкоразмерных структур
KW  - тонкие пленки диоксида олова
KW  - магнетронное распыление
KW  - ВЧ-магнетронное распыление
KW  - экспериментальные исследования
KW  - труды ученых ТГУ
ER  -