TY  - DATA
AU  - Лаврентьева,Людмила Германовна
ED  - Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск)
TI  - Кинетика и механизм газофазовой эпитаксии полупроводников типа А III B Y (на примере арсенида галлия): диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : 01.04.10
PY  - 1981///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - физика полупроводников
KW  - nsnr
KW  - арсенид галлия
KW  - газофазовая эпитаксия арсенида галлия
KW  - диссертации
N1  - Библиогр.: л. 426-479; Доступ в сети ТГУ
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000893712
ER  -