TY  - GEN
AU  - Ахмадеев,Юрий Халяфович
TI  - Влияние газовой среды на процесс азотирования технически чистого титана в несамостоятельном тлеющем разряде низкого давления
KW  - материаловедение
KW  - электронные пучки
KW  - заряженные частицы
KW  - плазма
KW  - титан
KW  - азотирование титана
KW  - тлеющий разряд
KW  - катоды
KW  - несамостоятельный разряд
KW  - газовые среды
KW  - экспериментальные исследования
N1  - Библиогр.: 6 назв
ER  -