TY  - GEN
AU  - Балюба,Виталий Иванович
AU  - Грицык,Валерий Юрьевич
AU  - Давыдова,Тамара Анатольевна
AU  - Калыгина,Вера Михайловна
AU  - Хлудкова,Людмила Станиславовна
TI  - Зависимость электрических характеристик тонкопленочных кремниевых структур, чувствительных к водороду, от режимов термического отжига
KW  - сложные полупроводники
KW  - полупроводниковые наноструктуры
KW  - термический отжиг
KW  - чувствительность
KW  - водород
KW  - МДП-структуры
KW  - туннельные диоды
KW  - газовые сенсоры
KW  - тонкие пленки
KW  - кремниевые структуры
KW  - экспериментальные исследования
KW  - труды ученых ТГУ
N1  - Библиогр.: 3 назв
ER  -