TY - SER AU - Voytsekhovskiy,Alexander V. AU - Kokhanenko,Andrey P. AU - Lozovoy,Kirill A. AU - Kalin,Eugeniy A. AU - Satdarov,Vadim G. ED - Томский государственный университет ED - Томский государственный университет TI - Controlling of Ge quantum dots arrays parameters in Ge/Si nanoheterostructures grown by molecular beam epitaxy method KW - квантовые точки KW - молекулярно-лучевая эпитаксия KW - дифракция электронов KW - микроскопия атомно-силовая KW - статьи в журналах N1 - Библиогр.: 6 назв UR - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000444364 ER -