TY  - SER
AU  - Визирь,Алексей Вадимович
AU  - Николаев,Алексей Геннадьевич
AU  - Окс,Ефим Михайлович
AU  - Фролова,Валерия Петровна
AU  - Черкасов,Александр Алексеевич
AU  - Шандриков,Максим Валентинович
AU  - Юшков,Георгий Юрьевич
TI  - Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора
KW  - пленки бора
KW  - плазма
KW  - планарные магнетроны
KW  - нагреваемая мишень из бора
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 22 назв; Ограниченный доступ
N2  - Представлены принцип работы и конструкция планарного магнетрона для нанесения покрытий из чистого бора. Особенностью устройства является использование термоизолированного катода-мишени из чистого кристаллического бора, нагреваемого вспомогательным слаботочным разрядом для обеспечения стабильного функционирования магнетронного разряда. Это позволяет реализовать в магнетроне как непрерывный режим работы, так и импульсный режим самораспыления, при котором в плазме разряда ионы бора превалируют над ионами рабочего газа. Другой особенностью магнетрона является использование щелевого анода специальной конструкции, обеспечивающего стабильную и длительную работу устройства при осаждении на поверхность анода неэлектропроводной пленки бора. При использовании импульсного разряда с амплитудой тока 40 А при длительности импульсов 400 мкс и частоте их повторения 25 Гц скорость нанесения покрытий из чистого бора на подложку, установленную на расстоянии 10 см от катода, была сравнима со скоростью нанесения покрытий в магнетронном разряде с постоянным током 300 мА и составляла 20−30 нм/мин
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725487
ER  -