Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора / А. В. Визирь, А. Г. Николаев, Е. М. Окс [и др.] // Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. Т. 64, № 12. С. 3-10. URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725487