TY - GEN AU - Григорьев,Денис Валерьевич AU - Леонтьев, Дмитрий Владимирович TI - Ионная имплантация в эпитаксиальные пленки КРТ, выращенные методом МЛЭ KW - физика полупроводников KW - полупроводники KW - полупроводниковые приборы KW - сложные полупроводниковые системы KW - твердые растворы KW - теллурид кадмия-ртути KW - молекулярно-лучевая эпитаксия KW - эпитаксиальные пленки KW - ионная имплантация KW - ионное облучение KW - экспериментальные исследования KW - полупроводниковые материалы KW - труды ученых ТГУ ER -