TY  - GEN
AU  - Анищенко,Екатерина Валентиновна
AU  - Диамант, В. М
AU  - Кагадей,Валерий Алексеевич
AU  - Нефедцев,Евгений Валерьевич
AU  - Оскомов,Константин Владимирович
AU  - Проскуровский,Дмитрий Ильич
AU  - Романенко,Святослав Валерьевич
TI  - Удаление остаточного резиста с поверхности арсенида галлия в кислород- или водоросрдержащих средах
KW  - физика полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - резисты
KW  - интегральные схемы
KW  - арсенид галлия
KW  - атомарный водород
KW  - кислородсодержащие среды
KW  - водородсодержащие среды
KW  - экспериментальные исследования
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - труды ученых ТГУ
N1  - Библиогр.: 1 назв
ER  -