Удаление остаточного резиста с поверхности арсенида галлия в кислород- или водоросрдержащих средах / Е. В. Анищенко, В. М. Диамант, В. А. Кагадей [и др.] // Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции. Томск, 2002. С. 352-354