TY  - GEN
AU  - Голиков,А.В
AU  - Кагадей,Валерий Алексеевич
AU  - Нефедцев,Евгений Валерьевич
AU  - Проскуровский,Дмитрий Ильич
AU  - Романенко,Святослав Валерьевич
AU  - Ромась,Лариса Михайловна
AU  - Широкова,Л.С
TI  - Улучшение характеристик мощных транзисторов интегральных схем на основе ионно-легированных структур арсенида галлия с использованием гидрогенизации в атомарном водороде
KW  - физика полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - ионно-легированные структуры
KW  - электронные устройства
KW  - арсенид галлия
KW  - гидрогенизация
KW  - Шоттки диоды
KW  - транзисторы
KW  - интегральные схемы
KW  - атомарный водород
KW  - экспериментальные исследования
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - труды ученых ТГУ
N1  - Библиогр.: 6 назв
ER  -