TY  - GEN
AU  - Пятова,А.В.
AU  - Канаев,В.Г
AU  - Фотина,Л.В.
AU  - Смирнов, Серафим Всеволодович
TI  - Тонкие пленки Ta2O5 для конденсаторов в интегральных схемах на арсениде галлия
KW  - физика полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - тонкие пленки
KW  - электронные устройства
KW  - интегральные схемы
KW  - эпитаксиальные структуры
KW  - конденсаторы
KW  - арсенид галлия
KW  - экспериментальные исследования
KW  - полупроводниковые материалы
N1  - Библиогр.: 2 назв
ER  -