Тонкие пленки Ta2O5 для конденсаторов в интегральных схемах на арсениде галлия / А. В. Пятова, В. Г. Канаев, Л. Ф. Фотина, С. В. Смирнов // Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции. Томск, 2002. С. 326-329