TY  - GEN
AU  - Шмелев,Сергей Сергеевич
AU  - Кириллов,М.А.
AU  - Налбандов,Б.Г
AU  - Чечуев,А.П.
AU  - Горбацевич,Александр Алексеевич
TI  - Сверхбыстродействующая элементная база интегральных схем на арсениде галлия
KW  - физика полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - элементные базы
KW  - электронные устройства
KW  - интегральные схемы
KW  - эпитаксиальные структуры
KW  - гетероструктуры
KW  - арсенид галлия
KW  - экспериментальные исследования
KW  - полупроводниковые материалы
ER  -