TY - GEN AU - Божков,Владимир Григорьевич AU - Геннеберг,В.А AU - Петров,Игорь Владимирович AU - Семенов,Анатолий Васильевич TI - Волноводный модулятор 8-мм диапазона длин волн на основе монолитной интегральной схемы KW - физика полупроводников KW - полупроводники KW - полупроводниковые приборы KW - волновые модуляторы KW - электронные устройства KW - монолитные интегральные схемы KW - экспериментальные исследования KW - полупроводниковые материалы N1 - Библиогр.: 1 назв. ER -