TY  - GEN
AU  - Шамирзаев,Тимур Сезгирович
AU  - Журавлев,Константин Сергеевич
AU  - 
AU  - Торопов,Александр Иванович
AU  - Бакаров,Асхат Климович
TI  - Влияние обработки в низкоэнергетической плазме CF4 и последующего отжига на образование дефектов в псевдоморфных GaAs/AlGaAs/InGaAs/GaAs гетерострукткрах для мощных сверхвысокочастотных транзисторов
KW  - физика полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - микроэлектронные приборы
KW  - электронные устройства
KW  - СВЧ транзисторы
KW  - арсенид галлия
KW  - гетероструктуры
KW  - экспериментальные исследования
KW  - полупроводниковые материалы
N1  - Библиогр.: 4 назв.


ER  -