TY  - GEN
AU  - Ардышев,Михаил Вячеславович
AU  - Ардышев,Михаил Вячеславович
AU  - Пичугин,Владимир Федорович
TI  - Зависимость свойств ионно-легированных слоев GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига
KW  - физика полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - ионно-легированные слои
KW  - арсенид галлия
KW  - кремний
KW  - имплантация ионов
KW  - радиационный отжиг
KW  - экспериментальные исследования
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - труды ученых ТГУ
N1  - Библиогр.: 8 назв
ER  -