TY  - GEN
AU  - Хлудков,Станислав Степанович
AU  - Корецкая,Ольга Борисовна
AU  - Тяжев,Антон Владимирович
TI  - Диффузное легирование GaAs примесью хлора
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - арсенид галлия
KW  - диффузия хрома
KW  - диффузионное легирование
KW  - труды ученых ТГУ
N1  - Библиогр.: 2 назв
ER  -