Хлудков С. С. Диффузное легирование GaAs примесью хлора / С. С. Хлудков, О. Б. Корецкая, А. В. Тяжев // Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции. Томск, 2002. С. 81-82