TY  - GEN
AU  - Maksimova,Nadezhda K.
AU  - Anisimov,Oleg V
AU  - Chernikov,Evgeniy V.
AU  - Sevastyanov,Evgeniy Yu
AU  - Rudov,Fedor V.
AU  - Chen,G.S.
TI  - Investigation on the microstructure, electrical and gas sensing properties of semiconducting metal oxide thin films deposited by advanced sputtering
KW  - тонкие пленки
KW  - полупроводниковые пленки
KW  - нанокристаллические пленки
KW  - магнетронное распыление
KW  - экспериментальные исследования
KW  - труды ученых ТГУ
N1  - Библиогр.: 3 назв
ER  -