TY  - GEN
AU  - Губайдулина,Татьяна Анатольевна
AU  - Дорофеева,Тамара Ивановна
AU  - Сергеев,Виктор Петрович
AU  - Калашников,Марк Петрович
AU  - Журавлев,Сергей Александрович
AU  - Воронов,Андрей Викторович
TI  - Структура и состав трехслойных покрытий AlSiN+Ni+AlSiN, полученных методом магнетронного распыления
KW  - магнетронное распыление
KW  - экспериментальные исследования
KW  - трехслойные покрытия
KW  - статьи в сборниках
N1  - Библиогр.: 5 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000718861
ER  -