TY  - GEN
AU  - Чалдышев,Владимир Викторович
AU  - Путято,Михаил Альбертович
AU  - Семянгин,Б.Р.
AU  - Преображенский,Валерий Владимирович
AU  - Пчеляков,Олег Петрович
AU  - Хан,А.В
AU  - Канаев,В.Г
AU  - Широкова,Л.С.
AU  - Голиков,А.В.
AU  - Кагадей,Валерий Алексеевич
AU  - Лиленко,Ю.В
AU  - Карпович,Нина Васильевна
TI  - Интегральные схемы на основе арсенида галлия, выращенного методом молекулярно-лучевой эпитаксии
KW  - арсенид галлия
KW  - полупроводниковое материалы
KW  - эпитаксиальные структуры
KW  - молекулярно-лучевая эпитаксия
KW  - интегральные схемы
KW  - полевые транзисторы
KW  - Шоттки барьер
KW  - эпитаксиальные пленки
ER  -