TY - GEN AU - Бобровникова,Ирина Анатольевна AU - Вилисова,Мария Дмитриевна AU - Лаврентьева,Людмила Германовна AU - Полтавец,И.Ю AU - Субач,Сергей Владимирович AU - Торопов,Сергей Евгеньевич AU - Преображенский,Валерий Владимирович AU - Путято,Михаил Альбертович AU - Семягин, Борис Рэмович TI - Особенности легирования и комплексообразования при молекулярно-лучевой эпитаксии GaAs KW - арсенид галлия KW - полупроводниковое материалы KW - кремний KW - молекулярно-лучевая эпитаксия KW - дефекты KW - труды ученых ТГУ ER -